제품소개
고순도 가스 공정을 위한 전문 솔루션을 제공합니다.
통합 가스 시스템 (IGS)
다양한 가스 패널 어플리케이션을 위한 가스 필터와 압력 센서를 통합한 시스템입니다.
- 세라믹 및 전금속 필터 내장
- 여과 정밀도 0.003 / 0.0015 μm
- 권장 유량 수 LPM ~ 80 LPM
- 고정밀·고내식성 압력 센서 내장
- 게이지 및 절대압 광범위 측정
- 출력: 0-100mV / 4-20mA / 0-5V
가스 필터
고정밀 여과와 높은 내식성을 특징으로 하는 세라믹 및 금속 가스 필터입니다.
- 세라믹 필터: 여과 정밀도 0.003 ~ 0.0015 μm
- 유량 10 ~ 1200 L/min (시리즈별)
- 200℃ 베이킹 가능, H₂O 농도 5ppb 이하
- 금속 필터: SUS316L 소재, 460℃ 대응
- PTFE·하스텔로이® 특수 소재 라인업
- 반도체 ULSI 공정 대응
가스 정제기
불활성 가스 및 특수 가스에서 수분, 산소, 탄화수소를 제거하는 초고순도 소형 가스 정제기입니다.
- 수분·산소·탄화수소 동시 제거
- 금속·게터 등 정제제 사용 (GP/GPF 시리즈)
- 구형 활성탄 정제제 사용 (GPFC 시리즈)
- 불활성 가스 및 특수 가스 대응
- 초소형 컴팩트 설계
- 고순도 반도체 공정 최적화
회사소개
에이씨아이(ACI)는 반도체·디스플레이·화학 산업에 필요한 고순도 가스 처리 솔루션을 전문으로 공급하는 기업입니다. Pureron Japan의 고성능 제품을 바탕으로, 고객의 공정 환경에 최적화된 필터, 정제기, 통합 가스 시스템을 제안하고 지원합니다.
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